高频反射式涡流接近开关传感器在金属板一侧的电感线圈中通以高频激励电流时，线圈便产生高频磁场，该磁场作用于金属板，由于集肤效应(交变电流通过导体时，由于感应作用引起导体截面上电流分布不均匀，越接近导体表面，电密度越大，这种现象称为集肤效应。集肤效应使导体的有效电阻增加。交流电的频率越高、集肤效应越显著)，高频磁场不能透过有一定厚度的金属板，而是作用于表面薄层，并在这薄导中产生涡流。涡流又会产生交变磁通返过来作用于线圈，使得线圈中的磁通发生变化而引起自感量变化，在线圈中产生感应电势。电感的变化随涡流而变。而涡流又随线圈与金属板之间的距离X而变化。故可用离频反射式涡流接近开关传感器来测量位移量X的变化。